Toto zariadenie je vhodné na predúpravu plátkov pred aplikáciou lepidla. Systém pozostáva z komory, vákuového systému, vykurovacieho systému, systému preplachovania dusíkom, systému dávkovania kvapalín a riadiaceho systému. Prostredníctvom viacerých vákuových cyklov a ohrevu 150ºC horúcim dusíkom zariadenie účinne suší a čistí povrch plátku, čím zabraňuje oxidácii a difúzii nečistôt. Systém dávkovania kvapalín môže na povrch plátku aplikovať aj ochrannú fóliu HDMS, čo má za následok vynikajúce aplikačné vlastnosti lepidla. V porovnaní s ručným náterom HMDS ponúka tento systém významné výhody, ako je dobrá opakovateľnosť, znížená spotreba chemikálií, šetrnosť k životnému prostrediu a bezpečnosť pre ľudské zdravie. Môže sa použiť aj na čistenie doštičiek v iných procesoch. Riadiaci systém využíva PLC a rozhranie človek-stroj využíva dotykovú obrazovku, ktorá ponúka vysokú spoľahlivosť, jednoduché ovládanie a intuitívne ovládanie.
V procesoch výroby polovodičov (čip/integrovaný obvod) je fotolitografia kľúčovým krokom pri prenose vzorov integrovaných obvodov. Kvalita fotorezistového povlaku priamo ovplyvňuje kvalitu fotolitografie, takže proces nanášania je obzvlášť dôležitý. Väčšina fotorezistov používaných vo fotolitografii je hydrofóbna, zatiaľ čo hydroxylové skupiny a zvyškové molekuly vody na povrchu kremíkového plátku sú hydrofilné. To má za následok slabú adhéziu medzi fotorezistom a kremíkovým plátkom, najmä pri pozitívnych fotorezistoch. Počas vývoja môže vývojka preniknúť cez rozhranie medzi fotorezistom a kremíkovým plátkom, čo ľahko spôsobí javy, ako je odlupovanie a plávanie fotorezistu, čo vedie k zlyhaniu prenosu fotolitografických vzorov. Súčasne je mokré leptanie náchylné na bočné leptanie. Po predbežnej úprave systémom predbežnej úpravy HMDS sa na povrch substrátu nanesie zlúčenina na báze siloxánu. Povrch plátku sa mení z hydrofilného na hydrofóbny, čím sa znižuje kontaktný uhol, znižuje sa množstvo potrebného fotorezistu a zvyšuje sa priľnavosť k fotorezistu. To inhibuje bočné leptanie a drift vzoru počas procesu vývoja, zlepšuje priľnavosť fotorezistu a zvyšuje odolnosť materiálu proti korózii v drsnom prostredí, čím sa výrazne zlepšuje kvalita produktu a znižuje sa chybovosť.
Cieľ procesu:
Zariadenie pracuje plne automaticky pomocou riadenia PLC. Proces zahŕňa vysokoteplotné vypaľovanie substrátu na odstránenie povrchovej vlhkosti v kombinácii s vákuovým sušením a technológiou ochrany pred dusíkom na odstránenie vlhkosti a kontaminantov z povrchu plátku, zabránenie oxidácii a difúzii nečistôt a zabezpečenie čistoty pred náterom. Potom sa zavedie plyn HMDS (hexametyldisilazán C6H19NSi2). Pri vysokej teplote povrch substrátu a HMDS úplne reagujú a vytvárajú zlúčeninu primárne zloženú zo siloxánu. To mení povrch substrátu z hydrofilného na hydrofóbny, čo umožňuje hydrofóbnej skupine dobre sa spojiť s fotorezistom, pričom pôsobí ako väzbové činidlo.
Priebeh procesu:
Najprv sa zapne vákuové čerpadlo, aby sa začalo vysávať. Keď úroveň vákua v komore dosiahne nastavenú hodnotu (túto hodnotu je možné nastaviť zmenou hodnoty P2 na vákuomere, pozri návod na vákuomer), zavedie sa dusík. Po dosiahnutí nastavenej úrovne vákua (túto hodnotu je možné nastaviť zmenou hodnoty P1 na vákuometri) sa proces vákuovania a zavádzania dusíka zopakuje. Po dosiahnutí nastaveného počtu prívodov dusíka sa opäť začne vysávanie, po ktorom nasleduje zavedenie chemického roztoku. Po uplynutí nastaveného času sa zavádzanie chemického roztoku zastaví a začne fáza udržiavania. Po uplynutí nastaveného času zdržania začne znovu vysávanie a zavádzanie dusíka na nastavený počet cyklov. Keď systém automaticky dokončí proces, zaznie zvukový a vizuálny alarm, ktorý indikuje, že plátky sú pripravené na odstránenie.
① Materiál vonkajšieho plášťa: Vyrobené z vybraného vysokokvalitného oceľového plechu valcovaného za studena (Q235), presne tvarovaného CNC obrábaním. Povrch je upravený fosfátovaním a antistatickým práškovým lakovaním, čím vzniká robustný plášť. Je antistatický, odolný voči korózii a poškriabaniu, čo zaručuje trvalú kvalitu;
② Vnútorná komora: Vnútorná komora je vyrobená z brúsenej nehrdzavejúcej ocele 304 s certifikáciou materiálu (dostupná správa o materiáli), odolná voči korózii a ľahko sa čistí;
③ Ovládací panel: Špičkový ovládač s farebnou dotykovou obrazovkou, ktorý zobrazuje kľúčové parametre, ako je teplota a čas v reálnom čase. Inteligentné výzvy na informácie o poruchách a alarmoch poskytujú jasné a intuitívne ovládanie;
④ Pozorovacie okno: Panoramatické veľkouhlé pozorovacie okno s použitím 8 mm vonkajšieho a 20 mm vnútorného dvojvrstvového tvrdeného skla, odolného voči vysokej teplote a vysoko priehľadného, ktoré jasne zobrazuje celý interiér komory v reálnom čase, vďaka čomu je stav experimentu jasný na prvý pohľad;
⑤ Police: Štandardné pochrómované sieťované police odolné voči korózii, dostupné aj v rôznych materiáloch a štruktúrach na flexibilné prispôsobenie rôznym experimentálnym potrebám;
⑥ Izolačná vrstva: Priestor medzi vonkajším plášťom a pracovnou komorou je vyplnený 80 mm hrubou bavlnou z keramických vlákien (Al₂O₃), ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú izoláciu, výrazne znižuje tepelné straty, zabezpečuje stálu teplotnú stabilitu a vysokú energetickú účinnosť;
⑦ Tesniaci pás: Vybavený tesniacim krúžkom zo silikónovej gumy vyrobeným na mieru, s obvodovou konvexnou líniovou štruktúrou a jedinečnou technológiou aktívneho vákuového rozbíjania. Okamžite vytvára kanál počas uvoľnenia tlaku, čím výrazne zlepšuje účinnosť vákuového prerušenia a zabezpečuje, že dvierka možno ľahko otvoriť po uvoľnení tlaku;
⑧ Vykurovacia trubica: Na mieru vyrobená vykurovacia trubica z nehrdzavejúcej ocele SUS304 s mimoriadne dlhou životnosťou, s voliteľnou policou / okolitou vykurovacou štruktúrou, presne prispôsobená procesu, ktorá zabezpečuje rovnomerné a efektívne vykurovanie;
⑨ Vstupné/výstupné ventily: Celomedené vákuové ventily, jednoduché a citlivé na obsluhu a spoľahlivé tesnenie;
① Tento systém automaticky vykonáva naprogramované cykly konštantnej teploty, vysokého vákua a čistenia inertným plynom podľa prednastavených parametrov; presne riadi načasovanie vstrekovania kvapaliny a udržiavanie tlaku; a poskytuje zvukové a vizuálne signály po dokončení procesu.
② Farebná dotyková obrazovka: Vybavená štandardnou farebnou obrazovkou a dotykovým ovládaním, ktoré zobrazuje parametre, ako je nastavená teplota, prevádzková teplota, čas konštantnej teploty a informácie o poruche na jednej obrazovke; dynamické nastavenie parametrov PID s funkciami, ako je rýchlosť odozvy a potlačenie prekročenia teploty;
③ Používa mikropočítačový regulátor teploty P.I.D s ochranou proti nadmernej teplote, ochranou proti prekročeniu rýchlosti a dotykovým displejom a obsahuje funkciu časovania;
④ Viacnásobné režimy časovania: 1. Časové jednotky možno voľne prepínať medzi minútami a hodinami; 2. Dva režimy časovania: časovanie od zapnutia a časovanie po dosiahnutí konštantnej teploty;
⑤ Vybavený vysoko presným odporovým silikónovým vákuovým senzorom, ktorý je stabilný a spoľahlivý a deteguje stupeň vákua vo vnútri komory v reálnom čase, poskytuje presnú podporu údajov a zaručuje presné procesy;
⑥ Vylepšený mikropočítačový čip na snímanie prostredia so zvukovým a svetelným alarmom so stabilnými schopnosťami spracovania údajov;
⑦ Funkcie zahŕňajú alarm pri prehriatí, vypnutie ohrevu pri prehriatí, načasované vypnutie, obnovenie po zapnutí, pamäť parametrov, korekciu teploty a automatické ladenie;
⑧ Funkcia obnovenia výpadku napájania: Ak dôjde k náhlej strate externého zdroja napájania a následnému obnoveniu, zariadenie môže automaticky obnoviť prevádzku podľa pôvodne nastaveného programu;
⑨ Samoladenie: Keď je presnosť regulácie teploty nepresná v dôsledku zmien okolitej teploty, je možné vykonať samoladenie, aby bola teplota presnejšia;
⑩ Je možné voľne prepínať viacero režimov: prepínanie režimu s pevnou hodnotou/režimu časovania.
| Model | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Kontrolný systém | Priemyselný počítač PLC | ||
| Interakcia človek-počítač | 7-palcový farebný dotykový ovládač | ||
| Snímač teploty | PT100 Platinum RTD | ||
| Rozsah teplôt | RT 10-200 °C | ||
| Rozlíšenie teploty | 0,1 ℃ | ||
| Kolísanie teploty | ≤±0,5℃ | ||
| Rozsah časovača | 0-9999 min | ||
| Programová skupina | 100 skupín / 100 segmentov na skupinu | ||
| Bezpečnosť údajov | Kontrola prístupu úrovne 3, audit trail | ||
| Inteligentná bezpečnosť | Autotest pri zapnutí, alarm prehriatia a vypnutie ohrevu, korekcia odchýlky snímača teploty, zámok obrazovky. | ||
| Smer časovania | Odpočítavanie/odpočítavanie | ||
| Jednotka časovania | Minúta/hodina | ||
| Vákuový merač | Odporový silikónový vákuomer | ||
| Konečné vákuum | ≤ 100 Pa | ||
| Rýchlosť čerpania | 2L/S | ||
| Napájacie napätie | AC 220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Menovitý výkon | 2 kW | 3 kW | 3,2 kW |
| Vnútorné rozmery | 410 x 370 x 345 mm | 450 x 450 x 450 mm | 500 x 500 x 600 mm |
| Vonkajšie rozmery | 610 x 525 x 1285 mm | Rozmer 660x590x1470 mm | Rozmery 670 x 650 x 1630 mm |
| Objem | 52 l | 91 l | 150 l |
| Štandardné police | 2 | 2 | 3 |
| Hrubá/Čistá hmotnosť | 152/138 kg | 185/165 kg | 235/205 KG $ $ |
| Nie | Meno | Parametre | Referenčná fotografia |
| 1 | Scroll Vacuum Pump | ① Bezolejové čerpadlo | |
| 2 | Filter olejovej hmly | ① Filtruje olejovú hmlu z vákuového čerpadla |  |
Používatelia hlboko dôverujú produktom, ktoré poskytujú známe podniky.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. , je high-tech podnik integrujúci výskum a vývoj, výrobu, predaj a servis. Špecializujeme sa na výrobu špičkového laboratórneho vybavenia vrátane pecí, inkubátorov, priemyselných pecí a environmentálnych testovacích komôr.
As and We sa môže pochváliť moderným výrobným zariadením s rozlohou 8 000 metrov štvorcových, špecializovaným tímom výskumu a vývoja, 23 národnými patentmi a certifikáciou systému manažérstva kvality ISO-9001. Naše riešenia sú široko používané v špičkových oblastiach, ako je letectvo, polovodiče, biomedicína, automobilový priemysel a nové materiály. Nadviazali sme hĺbkové partnerstvá s poprednými univerzitami a priemyselnými lídrami, dodávame naše produkty a vyvážame do mnohých krajín a regiónov po celom svete.
Dodržiavajúc princípy „Integrity, Innovation, and Win-Win“ sme odhodlaní stať sa vaším dôveryhodným partnerom so spoľahlivou kvalitou a špecializovanými službami.
Vítame otázky a spoluprácu od nových aj existujúcich zákazníkov, ktorí poskytujú profesionálne riešenia vybavenia.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Späť na začiatok
